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①装置本身 |
关V3开V2、真空泵、V1、 V4 、V5、 V6 |
关V1、真空泵、V2、V4 、V5、 V6 |
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②回收管路 |
关V3开V2、真空泵、V1、 V8 |
关V1、真空泵、V2、V8 |
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③电器设备 |
关V3开V2、真空泵、V1、 V7 |
关V1、真空泵、V2、V7 |
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